位于國(guó)際創(chuàng)新協(xié)同區(qū)的企業(yè)——瞻芯電子,正式發(fā)布了其自主研發(fā)的首片國(guó)產(chǎn)6英寸碳化硅(SiC)晶圓產(chǎn)品。這一重大技術(shù)突破,標(biāo)志著我國(guó)在寬禁帶半導(dǎo)體這一關(guān)鍵戰(zhàn)略材料領(lǐng)域取得了里程碑式的進(jìn)展,產(chǎn)品性能已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,為國(guó)內(nèi)新能源汽車、光伏發(fā)電、軌道交通、5G通信等高端產(chǎn)業(yè)的核心功率器件自主可控,注入了強(qiáng)勁的“芯”動(dòng)力。
碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表,因其具有禁帶寬度大、熱導(dǎo)率高、臨界擊穿場(chǎng)強(qiáng)高等優(yōu)異物理特性,被譽(yù)為“綠色能源芯片”的核心基石。與傳統(tǒng)硅基器件相比,碳化硅功率器件能顯著降低能源轉(zhuǎn)換損耗、提高系統(tǒng)效率、縮小設(shè)備體積,是推動(dòng)能源革命和產(chǎn)業(yè)升級(jí)的關(guān)鍵技術(shù)。高質(zhì)量、大尺寸的碳化硅單晶襯底制備技術(shù)壁壘極高,此前市場(chǎng)長(zhǎng)期被少數(shù)國(guó)際巨頭所主導(dǎo)。
此次瞻芯電子成功發(fā)布的6英寸碳化硅晶圓,是在其深厚的技術(shù)積累和持續(xù)的研發(fā)投入下結(jié)出的碩果。據(jù)披露,該產(chǎn)品在晶體質(zhì)量、缺陷控制、表面加工精度等核心指標(biāo)上均表現(xiàn)優(yōu)異,達(dá)到了可量產(chǎn)的商業(yè)化標(biāo)準(zhǔn),能夠滿足中高壓功率器件(如MOSFET、SBD)的制造要求。這不僅打破了國(guó)外技術(shù)壟斷,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)在該尺寸高端碳化硅襯底領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化空白,更意味著我國(guó)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈在源頭材料環(huán)節(jié)獲得了自主保障能力。
業(yè)界專家指出,從4英寸到6英寸的跨越,并非簡(jiǎn)單的尺寸放大,而是晶體生長(zhǎng)、加工工藝、質(zhì)量控制等一系列技術(shù)的系統(tǒng)性提升。更大尺寸的晶圓能夠顯著提升芯片產(chǎn)出率,降低單個(gè)器件的制造成本,對(duì)于推動(dòng)碳化硅器件在新能源汽車電驅(qū)、充電樁、工業(yè)電源等成本敏感型市場(chǎng)的規(guī)模化應(yīng)用至關(guān)重要。瞻芯電子的這一突破,將有力帶動(dòng)國(guó)內(nèi)下游設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)等環(huán)節(jié)的協(xié)同發(fā)展,加速構(gòu)建完整、有競(jìng)爭(zhēng)力的碳化硅產(chǎn)業(yè)生態(tài)。
瞻芯電子的成功并非偶然,其所在的國(guó)際創(chuàng)新協(xié)同區(qū)提供了匯聚全球智慧、聚焦前沿科技的創(chuàng)新土壤。這一成就的取得,是我國(guó)長(zhǎng)期堅(jiān)持科技創(chuàng)新、攻堅(jiān)核心技術(shù)“卡脖子”難題的縮影,也是市場(chǎng)導(dǎo)向、企業(yè)為主體、產(chǎn)學(xué)研深度融合創(chuàng)新體系效能的有力證明。
隨著“碳中和”目標(biāo)的推進(jìn)和電氣化進(jìn)程的加速,市場(chǎng)對(duì)高效功率半導(dǎo)體的需求將呈爆發(fā)式增長(zhǎng)。瞻芯電子首片國(guó)產(chǎn)6英寸碳化硅晶圓的面世,如同點(diǎn)亮了一簇關(guān)鍵的星火。它預(yù)示著中國(guó)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)正邁入一個(gè)從跟跑到并跑、乃至領(lǐng)跑的新階段,將為全球綠色能源技術(shù)和智能社會(huì)發(fā)展,貢獻(xiàn)不可或缺的中國(guó)智慧與中國(guó)方案。前路漫漫,芯光已現(xiàn),中國(guó)“芯”征程,值得更多期待。